專題製作 - 海報 專III

雷射摻雜製程開發

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專題摘要:
本專題規劃開發以二氧化碳)雷射進行高摻雜結構製作,相較於短波長雷射系統,除了可有效減少設備成本並能降低 製程中之表面缺陷產生。藉由瞭解雷射還原機制與相關背景知識,透過調整各項參數 (如: 掃描速度、溶液濃度、雷射功 率等),希冀能建立雷射摻雜之技術

發表學期:109-1

領域:能源材料

組別:第 11 組

指導老師:陳一塵

系級:三年級

學生姓名:李嘉鑫 王智乾