專題製作 - 海報 專I
AlGaN/GaN濕式蝕刻製程開發
專題摘要：
在電源及再生能源產業方面，AlGaN/GaN功率元件可適用於高電壓環境，並可在高頻率操作下提供高功率輸出，可有效提升能源效率並大幅降低系統成本。在元件製作上，乾式蝕刻容易導致表面缺陷，因此本學期的專題將嘗試進行
AlGaN/GaN濕式蝕刻製程開發。藉由瞭解蝕刻機制與相關背景知識，透過調整各項蝕刻參數：氧化時間、氧化溫度、蝕刻時間，希望透過本學期專題協助建立精準控制蝕刻深度之蝕刻技術。
發表學期：108-1
領域：能源材料
組別：第 13 組
指導老師：陳一塵
系級：二年級
學生姓名：李嘉鑫/王智乾