畢業專題 - 海報

能源材料

110-2

摻雜矽薄膜之雷射退火製程研...
海報圖檔

在將非晶矽轉化成多晶矽甚至單晶之開法,多晶矽薄膜製造,在傳統高溫爐 管退火方式需要高於 600 度的環境,並...

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